字肇余，號過涂，秀水（浙江嘉興）人。順治十五年（1658）進士（榜名徐臻），改庶吉士，歷內閣學士，官至禮部尚書。
康熙二十二年（1683）佐吏部，時耿、尚餘黨已降，內地無所容，議以海畔棄地處之。臺灣平，清政府正式下令開放已禁閉二十餘年的海外貿易，並撤銷遷界令，故命工部尚書杜臻與內閣學士石柱為欽差大臣，奉命往視形勢，巡視粵閩沿海邊界，處置有方，並著有«澎湖台灣紀略»。擢刑部尚書，調兵部，轉禮部。後以疾告歸。
康熙帝贈「烟霞耆舊」扁額以嘉勉他。臻卒後，康熙四十四年（1705）南巡，追賜額曰「眷懷舊德」。平日好獎掖人才。工詩文。好摹臨古法書，孜孜不倦。著有《粵閩巡視紀略》6卷、《海防述略》1卷、《經緯堂集》。
