字於密，號漢月。梁溪（今無錫）人，俗姓蘇。其父蘇蘭，號鏡湖先生。生於萬曆元年（1573），卒於崇禎八年（1635）。年十五，剃度於德慶院，十九得度。曾至雲棲，乞受大戒。萬曆三十七年（1609），古心如馨開法金陵靈谷寺，始圓具。萬曆三十八年（1610）住常熟東塔寺，後至三峰寺。萬曆四十二年（1614），讀惠洪覺範《臨濟宗旨》，大有會心。泰昌元年（1620），出版《於密禪師提智證傳》。天啟四年（1624），至金粟山廣慧寺，參謁密雲圓悟，遂嗣法密雲圓悟。然雙方論學多有不合，雙方門人彼此針鋒相對，至雍正帝下令禁絕方始平息，佛教史慣稱「密漢之爭」。
漢月法藏以三峰清涼禪院為發跡，故稱其開創的宗派為「三峰派」。嗣法門人有弘儲、弘禮、弘璧、弘忍等，說法記錄由弟子弘儲整理為《三峰藏和尚語錄》十六卷。此外著有《弘戒法儀》、《山居詩》等。
